高性能ITO陶瓷靶材生产技术发展趋势

• 作者: 惠耀辉 聂保民
• 来源期刊: 陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 平面显示器 ITO靶材 注浆成形 常压烧结
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 11-13,24
• 分类号: TQ17
• 字数: 3993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2872.2010.07.002

摘要

ITO靶材是平面显示器产业中必须用到的重要材料.随着平面显示器技术的发展,对ITO靶材性能的要求越来越高,这就需要有与之相适应的先进制造技术.笔者在分析国内外生产技术的基础上,探讨了国内高性能ITO靶材生产技术的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠耀辉		5	19	3.0	4.0
2	聂保民		11	23	3.0	4.0