故障自动防护微机械角速度传感器

• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 角速度传感器 汽车传感器 微机械系 故障自动防护性
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 产品特写
• 页码范围: 39-42,10
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3462字
• 语种: 中文

摘要

微机械角速度传感器是目前市场上可批量生产的最复杂的传感器系统之一,由在真空中做复杂运动的惯性质量块和驱动该设备、分析其响应的多种复杂电路组成,全部集中于一个在极狭小的空间内.本文介绍了由奥地利SensorDynamics公司成功研制的一种MEMS角速度传感器,可以满足现代应用的全部要求,尤其是汽车工业所要求的小尺寸、坚固的机械结构、长期稳定性、不受限制的故障自动防护性和AEC-0100认证.