绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展

• 作者: 何晶晶 吴雪梅 葛水兵 诸葛兰剑
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 绒面掺铝氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 湿法刻蚀 太阳电池
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构专辑
• 页码范围: 290-296
• 分类号: TN304.055|TN304.21
• 字数: 5270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.05.006

摘要

绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极.概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴雪梅	苏州大学物理系	72	331	9.0	13.0
5	诸葛兰剑	苏州大学分析测试中心	59	199	8.0	11.0
9	葛水兵	苏州大学物理系	14	103	6.0	10.0
13	何晶晶	苏州大学物理系	2	10	2.0	2.0