递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究

• 作者: 吴福全 张霞 洪芳 邵俊平 郝殿中 高中扬
• 来源期刊: 曲阜师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 椭圆偏振法 递进式拟合 光学常数
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5337.2010.01.015

摘要

采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜.利用法国产JobinYvon UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段,选用适当的色散公式建立物理模型,采用递进式拟合方法,对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合,结果表明:该拟合方法使得衡量拟合结果的均方误差X2,越来越小,获得的薄膜的光学常数及厚度更准确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴福全	曲阜师范大学激光研究所	63	160	7.0	8.0
2	郝殿中	曲阜师范大学激光研究所	31	47	4.0	6.0
3	洪芳	曲阜师范大学激光研究所	1	1	1.0	1.0
7	张霞	曲阜师范大学激光研究所	16	36	2.0	5.0
8	高中扬		1	1	1.0	1.0
9	邵俊平	曲阜师范大学激光研究所	4	2	1.0	1.0