多晶硅还原炉的电器设备

• 作者: 李世振
• 来源期刊: 东方电气评论
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 还原炉 电器设备
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 62-68
• 分类号: TM42
• 字数: 6519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9006.2010.03.013

摘要

目前,国际上多晶硅的生产,工艺大多采用改良西门子法,其关键设备为还原炉.本文介绍了国内常用的12对多晶硅棒还原炉之国产主要电器设备,并根据多晶硅生产的流程和工艺,说明选择这些电器设备参数的原则和依据,着重介绍了生产电子级多晶硅用的高压启动方式,以及可控硅调功器"拼波"的原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李世振		2	16	1.0	2.0