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芯片制造厂有多种办法"指向"32nm及其工艺代高k金属栅电介质(HK+MG)CMOS.2008年在旧金山举行的国际电子器件会议(IEDM)上发表的相关论文表明:虽然"路径"不同,但一直在取得稳步进展.利用带金属栅高k不仅能恢复一定程度的"等比缩小",且能使栅漏(电流)减小到原来的1/25(nMOS)和1/1000(pMOS).
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篇名 32nm及其以后工艺代的HK+MG的稳步进展
来源期刊 现代材料动态 学科
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年,卷(期) 2010,(1) 所属期刊栏目
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现代材料动态
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N内资准字:2001—L 0103号
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