一种可用于风速测量的CMOS光点位置检测传感器的设计

• 作者: 孙萍 秦明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光斑位置检测 CMOS 光电导效应 螺旋结构 风速测量
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1431-1434
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.014

摘要

介绍了一种可用于风速风向测量的光点位置检测传感器的结构、特点、工作原理,给出了传感器的理论模型,分析了传感器测量分辨率和灵敏度.该传感器在用于大风速测量有较高的测试灵敏度.在0～20 m/s测试量程内,测得风向的灵敏度为7 mV/度,风速的灵敏度为2.5 mv//μm..该传感器结构简单,工艺制作方便,能与CMOS工艺兼容,无温度漂移.