调制周期对ZrB2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响

• 作者: 刘孟寅 刘广庆 孙延东 李德军 龚杰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子辅助沉积 ZrB2/WNx纳米多层膜 硬度 调制周期
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 31-34
• 分类号: TG174.444|TG174.4
• 字数: 2567字
• 语种: 中文

摘要

本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响.结果表明:ZrB2具有典型的六角相及WNx为六方与立方混合相结构,ZrB2/WNx的多层膜则呈现多晶结构.所有多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料值.当调制周期Λ=9.6 nm,轰击能量为200 eV时,ZrB2/WNx的多层膜显示出最高的硬度(30.2 GPa)和弹性模量,内应力和划痕测试等机械性能也取得较好的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德军	天津师范大学物理与电子信息学院	73	242	7.0	11.0
2	孙延东	天津师范大学物理与电子信息学院	3	7	2.0	2.0
3	刘孟寅	天津师范大学物理与电子信息学院	5	13	3.0	3.0
4	刘广庆	天津师范大学物理与电子信息学院	4	8	2.0	2.0
5	龚杰	天津师范大学物理与电子信息学院	3	10	2.0	3.0