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摘要:
本文在热丝化学气相沉积(HFCVD)系统上,采用不同的工艺参数进行了钛衬底掺硼金刚石(Ti/BDD)涂层电极的制备试验,研究了衬底温度和碳源浓度对Ti/BDD涂层电极质量的影响,优化了制备Ti/BDD涂层电极的工艺条件.结果表明,沉积Ti/BDD涂层电极最合适的衬底温度为770 ℃,最适宜的C/H为2.0%.采用循环伏安法研究了用优化的工艺参数制备的Ti/BDD涂层电极的电化学性能,结果表明Ti/BDD涂层电势窗口宽、析氧电位高、背景电流小,是一种有广阔应用前景的电极材料.
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文献信息
篇名 Ti/BDD涂层电极的制备及其电化学性能研究
来源期刊 硅酸盐通报 学科 地球科学
关键词 Ti/BDD涂层电极 衬底温度 碳源浓度 电化学性能
年,卷(期) 2010,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 961-966
页数 分类号 TB43|X703
字数 3932字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 卢文壮 南京航空航天大学机电学院 94 520 12.0 17.0
2 左敦稳 南京航空航天大学机电学院 510 3780 26.0 32.0
3 徐锋 南京航空航天大学机电学院 85 541 13.0 18.0
4 陈兴峰 南京航空航天大学机电学院 2 21 2.0 2.0
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1980
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