氢气安全生产在多晶硅行业的重要性

• 作者: 蔡晓玲
• 来源期刊: 气体分离
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氢气 三氯氢硅 四氯化硅 氯硅烷 还原尾气 安全生产
• 年，卷（期）: qtfl_2010,（1）
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2

摘要

本文通过介绍氢气生产在多晶硅生产过程中的实际应用,强调了氢气安全生产对多晶硅的重要性,为多晶硅行业生产提供了有价值的参考。