磷锗锌单晶体的腐蚀研究

• 作者: 何知宇 孙永强 张羽 朱世富 梁栋程 程江 赵北君 陈宝军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnGeP2晶体 化学腐蚀 蚀坑形貌
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 304-307
• 分类号: TB43
• 字数: 1648字
• 语种: 中文

摘要

报道了一种新的ZnGeP2晶体择优腐蚀剂及其腐蚀工艺,即先采用研磨、物理机械抛光和HCl+HNO3热化学抛光获得表面平整无划痕的ZnGeP2晶片,然后将晶片在室温下采用HF(40%):HNO3(65%):CH3COOH(99.5%):H2O:I2=2 mL:2 mL:1 mL:1 mL:4 mg腐蚀剂超声振荡腐蚀8 min;在扫描电镜下观察到ZGP(110)和(204)晶面的腐蚀坑,蚀坑形貌清晰,具有立体感,(110)晶面蚀坑呈四边形,(204)晶面蚀坑呈五边形,取向一致,蚀坑密度(EPD)约为104/cm2.从理论上对蚀坑形貌的形成机理进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱世富	四川大学材料科学系	151	840	14.0	20.0
2	赵北君	四川大学材料科学系	132	744	14.0	19.0
3	陈宝军	四川大学材料科学系	56	160	7.0	9.0
4	何知宇	四川大学材料科学系	69	221	8.0	11.0
5	张羽	四川大学材料科学系	5	14	2.0	3.0
6	孙永强	四川大学材料科学系	4	24	3.0	4.0
7	程江	四川大学材料科学系	3	9	2.0	3.0
8	梁栋程	四川大学材料科学系	2	3	1.0	1.0