CO2激光预处理对熔石英表面影响的实验研究

• 作者: 向霞 吕海兵 李熙斌 王海军 袁晓东 郑万国 陈猛 黄进
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光预处理 熔石英 局部粗糙度 损伤阈值 损伤修复
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 68-71
• 分类号: TN249
• 字数: 1896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.04.017

摘要

为研究CO2激光预处理参数对熔石英基片表面的影响,采用波长为10.6μm,重复频率为100 Hz的CO2激光对完好的熔石英基片进行单点单次辐照处理.实验发现,对于不同的修复程度,面形变化不完全相同,损伤斑的形貌也各不相同.实验得到了适合修复的参数范围,并研究了修复对于材料粗糙度和疏水性的影响.对中度修复的取样点表面的局部粗糙度进行了统计,发现预处理过程中的污染沉积物在一定范围存在.在此基础上对污染的影响范围分布规律进行了统计.