垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析

• 作者: 傅师伟 周晓林 崔长彩 张倩 范伟
• 来源期刊: 湖北汽车工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直扫描白光干涉 质心算法 粗糙度 参数评定
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 42-45,49
• 页数: 5页
• 分类号: TH744|TP274
• 字数: 2305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5483.2010.01.011

摘要

研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息.根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力.实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm.结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张倩	华侨大学机电及自动化技术学院	17	50	4.0	6.0
2	崔长彩	华侨大学机电及自动化技术学院	55	459	12.0	20.0
3	周晓林	华侨大学机电及自动化技术学院	3	25	3.0	3.0
4	范伟	华侨大学机电及自动化技术学院	22	106	6.0	10.0
5	傅师伟	华侨大学机电及自动化技术学院	18	101	5.0	9.0