TiC/DLC多层膜的制备及组织形态

• 作者: 侯惠君 张馨 李福球 林松盛 肖晓玲
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiC/DLC多层膜 非平衡磁控溅射 组织及性能
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 690-694
• 分类号: O484.5
• 字数: 3653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.23

摘要

本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜.利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结构、形态及成分进行了分析.结果表明:Ti与C结合生成TiC晶相,过渡层中TiC相呈柱状晶生长,多层膜中的TiC分层以岛状模式生长,DLC分层以层状模式生长,TiC/DLC膜层中含有金刚石成分.TiC/DLC的多层结构受沉积参数的影响,当分层的沉积时间少于1 min时,很难获得清晰的层状结构薄膜,膜中Ti的含量随Ti靶电流的增加而增加;过渡层的引入,提高了膜与基体的结合力,并且过渡层的厚度增加,TiC/DLC膜层同基体之间的结合力增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林松盛		45	332	11.0	14.0
2	李福球		4	39	3.0	4.0
3	侯惠君		34	234	10.0	13.0
4	肖晓玲		4	40	3.0	4.0
5	张馨		1	16	1.0	1.0