ITO薄膜电极激光损伤形貌的多重分形研究

• 作者: 付博 刘仓理 张大勇 李剑峰 罗飞 骆永全
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: IT0薄膜 纳秒激光 AFM 多重分形
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 86-90
• 分类号: TN2
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20103002.0086

摘要

液晶光学器件中液晶分子的转动由施加在ITO薄膜电极间的电场来控制,ITO晶体结构中空穴和自由电子与强激光的相互作用,使ITO薄膜电极成为液晶光学器件结构中激光损伤的薄弱环节.为探索ITO薄膜电极的激光损伤机制,使用原子力显微镜(AFM)对厚度约为10nm的ITO薄膜的表面形貌进行了测量.采用多重分形理论,定量分析了薄膜表面粗糙度及微孔洞分布情况,对薄膜在脉冲宽度为10ns,能量分别为50mJ、lOOmJ、200mJ激光辐照下所获得薄膜的表面粗糙度分布情况进行比较分析,结果显示,随着激光功率的增加,多重分形谱的谱宽△a呈增大趋势,且△f为负值,表明ITO.薄膜表面粗糙度增大并形成微孔洞缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仓理	中国工程物理研究院流体物理研究所	93	595	14.0	19.0
2	李剑峰	中国工程物理研究院流体物理研究所	35	122	6.0	9.0
3	张大勇	中国工程物理研究院流体物理研究所	62	225	7.0	12.0
4	骆永全	中国工程物理研究院流体物理研究所	42	119	6.0	8.0
5	罗飞	中国工程物理研究院流体物理研究所	34	145	7.0	10.0
6	付博	中国工程物理研究院流体物理研究所	15	51	5.0	6.0