脉冲真空弧离子源的质谱分析

• 作者: 向伟 王远 程亮 程焰林 金大志
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空弧离子源 四极质谱仪 质谱图
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: O569|TB79
• 字数: 2265字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了脉冲真空弧离子源的特点,建立了脉冲真空弧离子源工作瞬间放气成分的质谱分析系统.应用四极质谱仪记录了真空系统中离子源工作前后的谱图,并通过数据软件的二次处理初步取得了脉冲真空弧离子源放电空间的增量成分分析;开展了不同绝缘介质对脉冲真空弧离子源工作瞬间所产生气体成分的对比研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王远	中国工程物理研究院电子工程研究所	67	188	8.0	11.0
2	金大志	中国工程物理研究院电子工程研究所	43	130	6.0	8.0
3	程焰林	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	33	3.0	5.0
4	向伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	105	6.0	8.0
5	程亮	中国工程物理研究院电子工程研究所	18	37	4.0	5.0