边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响

• 作者: 孙小伟 张鹏 石广丰 金光
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 静电拉伸 薄膜反射镜 预应力/预应变 边界位移
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 402-405
• 分类号: TH751
• 语种: 中文

摘要

圆形薄膜周边夹持预应力调节对静电薄膜反射镜面形的成形质量具有重要的调节作用.分析了φ180 mm口径的静电薄膜反射镜边界位移的调节范围,计算出了相应调节极限,并结合静电拉伸薄膜实验进行了四种边界位移调节工况的验证.预应力施加过大会造成电极施加电压增高,严重时造成薄膜击穿,但预应力施加过小会造成面形质量不佳.最大边界位移调解量影响薄膜反射镜结构参数和所施加电压,同时薄膜反射镜结构参数和所施加电压也限制着最大位移边界调解量的取值.合理选取并精密控制圆薄膜的边界位移量对于大口径静电薄膜反射镜的精确成形来说至关重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
2	张鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	220	1605	21.0	32.0
6	石广丰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	69	202	6.0	11.0
15	孙小伟		5	50	2.0	5.0