波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响

• 作者: 唐多昌 李晓红 杨宏道 袁春华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光物理 表面微结构 纳秒激光辐照 硅
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 647-649
• 分类号: TN249
• 字数: 2368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.019

摘要

为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF6、空气、N2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究.得到红外纳秒激光在SF6和空气中形成的微结构较真空和N2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF6和真空中产生的锥形结构比N2和空气中要更为显著,但SF6中形成的微结构上有絮状物的结果.结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同.该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐多昌		3	17	3.0	3.0
2	李晓红		3	17	3.0	3.0
3	袁春华		3	17	3.0	3.0
4	杨宏道		3	17	3.0	3.0