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日本开发成功高质量p型氧化锌单晶基板
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摘要：
日本九州工业大学的中尾基副教授和日本COLMO公司成功开发出高质量、低成本制备氧化锌晶片的技术.首先利用硅基板上的碳化硅缓冲层制作n型氧化锌单晶薄膜基板,然后用CVD法在基板上沉积p型氧化锌单晶薄膜.
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现代材料动态
主办单位：
北京有色金属研究总院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
N内资准字：2001—L 0103号
开本：
出版地：
北京新街口外大街2号
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语种：
chi
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59
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