多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究

• 作者: 于强 吕旭涛 王刚 秦琳琳 郑涛
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多温区晶体生长炉 机理建模 解耦控制 预测控制
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1947-1950,1973
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数.研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性.对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚	中国科学技术大学自动化系	164	1405	19.0	32.0
2	秦琳琳	中国科学技术大学自动化系	50	621	14.0	22.0
3	于强	中国科学院空间科学与应用研究中心	110	3948	36.0	60.0
4	郑涛	中国科学技术大学自动化系	34	432	11.0	20.0
5	吕旭涛	中国科学技术大学自动化系	11	164	5.0	11.0