非对称双极脉冲磁控溅射制备Ti-Co-La-N纳米薄膜性能

• 作者: 刘政 吕反修 李成明 陈良贤 黑立富
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米复合 Co-La掺杂 TiN
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 133-136
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

利用非对称双极脉冲磁控溅射制备了不用Co-La掺杂量的Ti-Co-La-N纳米复合薄膜.分别用扫描电子显微镜、X射线衍射、纳米压痕仪、划痕仪以及摩擦磨损仪研究了薄膜的表面形貌、结合力、显微硬度和摩擦学性能.结果表明:复合薄膜主要有TiN相、Co2N相和LaN相组成;复合膜的纤维硬度达到14.61 GPa,低于TiN的显微硬度;复合薄膜的显微硬度和结合力都随着Co-La掺杂量的增加而降低;在高速钢基体上复合薄膜的摩擦系数达到了0.6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	刘政	北京科技大学材料学科学与工程学院	17	139	7.0	11.0
3	黑立富	北京科技大学材料学科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
4	李成明	北京科技大学材料学科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
5	陈良贤	北京科技大学材料学科学与工程学院	34	69	4.0	5.0