IGBT器件和相关制备工艺技术评述

• 作者: 许平
• 来源期刊: 电力电子
• 关键词: IGBT 制备工艺技术 大功率器件
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 6-13
• 页数: 8页
• 语种: 中文

摘要

为了提高IGBT器件性能,根据相关资料和针对器件的重要特性参数,本文介绍和评估各类或称各代IGBT器件结构的变革和参数的优化,以及为其实现而可能采用的制备工艺与技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许平	清华大学微电子技术研究所	2	0	0.0	0.0