用于气体传感器的多孔硅的制备方法研究

• 作者: 张成立 张皓
• 来源期刊: 化学通报（印刷版）
• 学科: 化学
• 关键词: 多孔硅制备 气体传感器 化学刻蚀法 电化学腐蚀法 铂助腐蚀法
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 568-572
• 分类号: O6
• 字数: 3190字
• 语种: 中文

摘要

分别采用化学刻蚀法、电化学腐蚀法和铂助腐蚀法在室温下制备了应用于气体传感器的纳米级多孔硅,并且对其表面形貌及厚度进行了表征.结果表明,3种方法制备的多孔硅孔径从5～100nm不等,并且3种制备方法各具优缺点,可根据实际需要来选择合适的制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张成立	渤海大学化学化工学院	3	6	2.0	2.0
2	张皓	渤海大学化学化工学院	4	9	2.0	3.0