聚合物光栅光波导器件的微复制技术

• 作者: 刘月明 张少君
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚合物 光栅光波导 微复制工艺 微挠曲监测
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1408-1411
• 分类号: TP212.14
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.009

摘要

采用纳米压印微复制技术方法,研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件,该器件可用于介入式医用导管的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测.重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方法,并对制备工艺技术中的关键技术问题进行了讨论,讨论了测试光纤耦合一体化光栅波导器件的工艺方法.最后利用硅微模具和紫外固化介质材料,成功制备出了截面尺寸为4 μm×20 μm、光栅周期为0.75 μm的聚合物柔性光栅光波导器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月明	中国计量学院光电学院	20	131	7.0	10.0
2	张少君	中国计量学院理学院	3	16	2.0	3.0