硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺的研究

• 作者: 李佳 李德良 莫凌
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硝酸 硝酸铜 蚀刻液
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 87-89
• 分类号: TG176|TN405
• 字数: 2563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.03.025

摘要

研究了以硝酸为主成分的酸性蚀刻液.采用静态蚀刻的实验方法,通过测定蚀刻液对印制电路板铜箔的蚀刻速率和侧蚀量,考察了几个独立因素的影响.结合正交实验得出硝酸型酸性蚀刻液的最佳组分及工艺条件为:Cu2+质量浓度为(140±10)g/L,硝酸浓度为(2.5±0.5)mol/L,温度为(50±5)℃.在该条件下,静态蚀刻速率可达到10 μm/min,且侧蚀量小.此外,还考察了抑烟剂对蚀刻速率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德良		44	491	12.0	21.0
2	李佳		15	147	6.0	12.0
3	莫凌		2	24	2.0	2.0