直流热阴极PCVD法CH4:N2:H2气氛下制备纳米金刚石膜

• 作者: 姜宏伟 彭鸿雁 王军 陈奇 陈玉强 高福毅
• 来源期刊: 真空
• 学科: 化学
• 关键词: 直流热阴极 PCVD 纳米金刚石膜
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 35-38
• 分类号: O613.71|TQ163
• 字数: 3249字
• 语种: 中文

摘要

采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,在CH4:H2中加入N2改变等离子体能量分布状态,提高二次形核比例,制备纳米金刚石膜.在CH4:H2气体中,在不同压力和温度下,改变通入N2的比例,分析直流热阴极等离子体放电下N2对金刚石膜生长的影响.采用拉曼光谱仪、扫描电镜(SEM)和X射线衍射分析仪(XRD)对样品进行了表征,结果表明,直流热阴极PCVD系统中,CH4:N2:H2气氛下,N2流量小于气体总流量的50%时,在6×103 Pa、850℃条件下,制备的金刚石膜样品的晶粒小于100nm、金 刚石1332 cm-1特征峰展宽且强度较高、金刚石的XRD衍射峰强度也较高,具备纳米金刚石膜的基本特征.因此,利用直流热阴极PCVD方法,在较低温度和气压下,CH4:H2中加入少量N2,可以制备出纳米金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈奇	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	3	2	1.0	1.0
2	姜宏伟	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	29	46	3.0	5.0
3	陈玉强	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	27	60	5.0	7.0
4	王军	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	4	7	1.0	2.0
5	高福毅	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	2	9	1.0	2.0