衬底对溶胶-凝胶法制备 ZnO 薄膜晶体结构和发光特性的影响

• 作者: 胡界博
• 来源期刊: 江汉大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Sol-Gel法 ZnO薄膜 衬底 晶体结构 光致发光
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息
• 页码范围: 22-24,29
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3|O471.4
• 字数: 2425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0143.2010.01.006

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂法在Si(100)和熔石英衬底上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)等手段分析得到ZnO薄膜的晶体结构和发光特性.结果表明,在Si(100)衬底上制备的ZnO薄膜呈现沿各个晶面自由生长的特性,而熔石英衬底上制备的样品呈现沿c轴择优取向生长的特性.