利用共振隧穿器件制作太赫兹波源

• 作者: 何庆国 冯志红 张世林 李晓云 毛陆虹 牛萍娟 田爱华 谷晓 郭维廉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹波 太赫兹波源 共振隧穿器件 振荡源 毫米波
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 595-602,623
• 分类号: TN312.2|TN431.2
• 字数: 3938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.10.002

摘要

太赫兹波是振荡频率在100 GHz～10 THz范围的电磁波,利用共振隧穿器件高频高速的特点,适宜制作此波段的振荡源器件.指出与其他类型的太赫兹源器件相比,共振隧穿型太赫兹波源器件具有体积小、重量轻、便于与控制电路集成以及易于进行调制等特点;此外,还适宜用Si透镜进行功率合成,增大其总发射功率.给出几种重要太赫兹共振隧穿器件的结构、制造工艺和器件性能,作为太赫兹技术领域的研究人员选择太赫兹波源器件的参考.