椭偏光谱法研究不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制

• 作者: 卢景霄 朱志立 杨仕娥 谷锦华 郜小勇 陈永生
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 微晶硅 椭偏光谱法 生长机制 晶化率
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 53-56
• 分类号: O484.5
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

本文采用VHF-PECVD技术制备了两个不同硅烷浓度(SC)系列的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了微晶硅薄膜的微结构和表面粗糙度随沉积时间的变化.实验结果表明:随着薄膜厚度的增加,两个系列硅薄膜的晶化度增加,当薄膜增加到一定厚度时内部开始出现微空洞,这是由于随着薄膜厚度的增加,薄膜晶化度增加,晶粒增大,大晶粒边界之间更容易形成空洞.硅薄膜的表面粗糙层厚度ds与薄膜厚度d满足指数关系:ds～dβ,β为生长指数,与薄膜生长机制有关,当硅烷浓度SC为4%时,β=0.33,对应有限扩散生长模式.硅烷浓度SC为5%时,β=0.52,对应为零扩散随机生长模式.硅烷浓度降低,生长指数β减小,这是由于随着硅烷浓度的降低,氢原子浓度增加,薄膜表面氢覆盖扩大,从而有利于反应前驱物的扩散,因此薄膜表面更为光滑,生长指数β减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谷锦华	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	25	103	6.0	8.0
2	郜小勇	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	52	301	10.0	14.0
3	陈永生	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	67	484	11.0	19.0
4	杨仕娥	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	68	513	12.0	18.0
5	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	100	570	12.0	17.0
6	朱志立	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	10	18	3.0	4.0