Ni-Cr薄膜换能元刻蚀工艺研究

• 作者: 任小明 刘兰 卢斌 王可暄 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 火工品 Ni-Cr薄膜 换能元 刻蚀
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 20-22
• 分类号: TJ450.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2010.06.006

摘要

为得到刻蚀效果好的Ni-Cr薄膜换能元,研究了刻蚀液的配比对刻蚀时间及金属桥膜换能元参数的影响.结果表明:在硫酸高铈的量一定的情况下,当V高氯酸∶V水为17∶100时,刻蚀效果较为理想,制作的Ni-Cr薄膜换能元桥区尺寸与设计尺寸的偏差控制在了0.9%以内,并在10V、47μF条件下能够发火.