高脉冲功率密度复合磁控溅射电源研制及放电特性研究

• 作者: 吴忠振 巩春志 李希平 杨士勤 田修波 石经纬
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率脉冲复合磁控溅射 峰值电流 放电特性
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 44-47
• 分类号: O484|TB43
• 字数: 1469字
• 语种: 中文

摘要

高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)由于能够产生较高的离化率而受到人们的重视.为了提高离化率/沉积速率协同效应,基于直流和脉冲耦合叠加技术我们研制了高功率密度复合脉冲磁控溅射电源,并对高功率复合脉冲磁控溅射放电特性进行研究.结果表明脉冲峰值电流随脉冲电压的增加而增加,但随着脉冲宽度的增加而减小.在高功率脉冲期间工件上获得的电流可以增加一个数量级以上,表明磁控离化率得到显著增强.