基于OG154的紫外纳米压印研究

• 作者: 刘泽文 司卫华 董晓文 顾文琪
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外压印 模板 硬质纸板 石英玻璃 OG154
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 230-233
• 分类号: TN405
• 语种: 中文

摘要

制作出适用于紫外压印的模板,用自行研制的UVNIL-01型气囊气缸式紫外压印机,分别在硬质纸板上和石英玻璃上做了紫外压印实验.用紫外固化聚合物OG154完成了紫外纳米压印,转移复制了具有100 nm特征尺寸纳米结构图形.在实验中,采用的模板面积为5 cm×5cm,压力最大为2 bar,脆性模板和基片未发生破裂,表明气囊气缸压印系统可以完成大面积图形的转印.实验结果表明,硬质纸板对聚合物OG154的粘附力大于模板对聚合物的粘附力,很利于脱模分离.石英玻璃基板对OG154的粘附力小,很容易剥离成OG154薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘泽文	清华大学微电子所	50	169	7.0	10.0
2	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
3	董晓文	中国科学院电工研究所	10	46	4.0	6.0
4	司卫华	清华大学微电子所	2	5	1.0	2.0