辉光放电原子发射光谱法测定钢铁表面纳米尺度薄膜厚度的重复性和再现性

• 作者: 张毅 缪乐德 邬君飞 陈英颖
• 来源期刊: 宝钢技术
• 学科: 化学
• 关键词: 辉光放电 原子发射光谱法 纳米尺度薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 41-46
• 分类号: O657.31
• 字数: 4298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0716.2010.04.010

摘要

以辉光放电原子发射光谱法测定钢铁表面纳米尺度薄膜的厚度为例进行了膜厚测定的多家实验室共同试验.对共同试验的结果进行了计算,得到相应的重复性和再现性数据,得出膜厚与重复性之间的关系为:lgr=0.018 3+0.459 6 lgm;膜厚与再现性之间的关系为:lgR=0.140 9+0.485 lgm.并对共同试验中出现的准确度问题--薄膜的密度和最小光源稳定时间进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张毅		40	336	12.0	16.0
2	陈英颖		9	63	4.0	7.0
3	邬君飞		10	49	4.0	6.0
4	缪乐德		14	83	7.0	8.0