冲击下悬臂梁断裂可靠性的节点分析法

• 作者: 唐洁影 宋竞 陈凌威
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 可靠性 系统级 节点分析法 悬臂梁 Weibull分布
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 367-372
• 页数: 6页
• 分类号: TN406
• 字数: 4619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.03.016

摘要

随着微系统高密度和高集成度化趋势的发展,人们开始关注解决系统全局可靠性问题的设计和模拟方案.本文将传统电路领域的节点分析法移植到微系统的可靠性分析领域.通过对冲击下悬臂梁断裂可靠性问题的分析,演示了节点法分析系统全局可靠性问题的流程和可行性.利用冲击实验测量了不同方向和大小加速度冲击下的悬臂梁的断裂可靠度,基于节点模型结果和Weibull理论分析,指出工艺缺陷引起的早期失效是导致实验中较细悬臂梁约10 %断裂失效几率的主要成因.