基于LabVIEW的HCI参数测试系统设计

• 作者: 时丙才 李垚
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟仪器 LabVIEW HCI 测试系统
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 56-59,72
• 分类号: TP202+.1
• 字数: 1715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2010.10.016

摘要

为了解决利用仪器手动测量器件可靠性既效率不高,又容易出错的问题,根据热载流子可靠性测试原理,以LabVIEW 8.5为平台设计了半导体器件HCI参数自动测试系统.介绍了该系统的硬件、软件构成,详细介绍了软件设计及功能实现.实验结果表明,该系统运行稳定,测量速度快,结果精度高,提高了测量人员的效率,且程序具有很好的扩展性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李垚	中国科学技术大学微电子实验室	18	90	4.0	9.0
2	时丙才	中国科学技术大学微电子实验室	4	7	2.0	2.0