三维精密位移系统的设计

• 作者: 王淑珍 王生怀 谢铁邦 陈育荣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维精密位移系统 结构设计 粗、精两级驱动
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 175-182
• 页数: 8页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 4706字
• 语种: 中文

摘要

为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统.采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台.位移系统在X、Y、Z 3个方向采用粗、精两级驱动,并分别装有计量光栅.各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和直线导轨进行,精驱动采用压电陶瓷微位移器配合柔性铰链进行,每个方向的两级驱动共用一套计量光栅,从而保证了位移系统的大行程、纳米级和计量型.介绍了位移系统的结构设计,分析了位移系统的位移分辨率、计量原理以及它的运动性能.实验表明,在40 mm位移行程内,X、Y和Z向工作台两级驱动实际位移与设定位移之差分别不超过±0.030、±0.028和±0.033 μm,验证了位移系统设计的有效性,为位移系统的设计提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈育荣	湖北汽车工业学院机械系	32	113	5.0	9.0