扫描探针声显微镜轻敲模式中相位像的反差机理

• 作者: 程茜 赵亚军 钱梦騄
• 来源期刊: 声学学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 289-297
• 页数: 9页
• 分类号: O4
• 字数: 6120字
• 语种: 中文

摘要

根据扫描探针声显微镜(SPAM)轻敲工作模式中探针作周期振动的特点,以及在探针与试样相接触过程中激振力和悬臂探针自由振动的阻尼力很小的假设下,解析求解了探针与试样的碰撞运动方程,得到了最大压痕深度和碰撞时间与探针半径、等效杨氏模量以及界面吸附能等之间的关系式,较直观地说明了SPAM中轻敲模式的相位像反差机理:信号的相位与试样微区的性质、探针振幅、设置点以及试样形貌等有关.并定量预计了纳米金刚石像中的相位差值72.59°,与实验测量平均值73.2°±8.2°一致.同时,合理地解释了实验得到的光学薄膜试样相位像的反差.这些表明SPAM轻敲模式的相位成像是一种纳米分辨率测量材料表面物理性质的成像技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程茜	同济大学声学研究所	35	136	7.0	9.0
2	钱梦騄	同济大学声学研究所	55	708	11.0	25.0
3	赵亚军	同济大学声学研究所	7	21	3.0	4.0