金属有机物化学气相法制备YBCO超导薄膜研究

• 作者: 于淼 戴邵康 陶伯万 高磊
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: 液相传输 氧分压 YBCO高温超导薄膜 金属有机物化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: O51
• 字数: 2470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2010.03.008

摘要

运用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD),在LaAlO_3(LAO)单晶上沉积YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)超导薄膜.通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸.通过优化总气压、氧分压等生长条件,获得高质量的YBCO薄膜.在固定的温度条件下,调节反应总气压和氧分压,在总压为380Pa,氧分压为180Pa获得YBCO薄膜临界电流密度J_c=0.6MA/cm~2.随着氧分压增大,YBCO薄膜产生a轴取向,(005)峰向左偏移,且薄膜中的Cu/Ba由1.0变化至1.63.在Cu/Ba=1.48时,YBCO薄膜结构与性能较优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
2	于淼	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	26	15	2.0	3.0
3	高磊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	5	1.0	2.0
4	戴邵康	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	4	1.0	1.0