色散条纹传感技术用于拼接镜面位移探测的仿真研究

• 作者: 张勇 张靓
• 来源期刊: 中国科学院研究生院学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 主动光学 拼接镜面 色散条纹传感器 平移误差
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 471-479
• 分类号: P111.49
• 字数: 5023字
• 语种: 中文

摘要

根据色散条纹传感技术的基本原理,从物理光学的角度对色散条纹传感器(DFS)进行了模拟研究,仿真出理论干涉图形,并从中采集能量信号,拟合光强分布曲线,得出测量结果.通过比较在不同波段的采样,提出在CCD上开出窗口采集有效信号的2种方法,借以提高检测精度.色散条纹传感器的检测范围为±50μm,检测精度可以达到几十nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张勇	中国科学院天文光学技术重点实验室	140	1936	22.0	41.0
10	张靓	中国科学院天文光学技术重点实验室	4	1	1.0	1.0