硅基Ba0.7Sr0.3TiO3介质层的电润湿效应

• 作者: 梁忠诚 江博 陈陶
• 来源期刊: 金陵科技学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ba0.7Sr0.3TiO3 电润湿效应 绝缘介电层参数
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TN204
• 字数: 2101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-755X.2010.01.001

摘要

采用特定的"单晶硅基片/Ba0.7Sr0.3TiO3层"微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性.Ba0.7Sr0.3TiO3是一种钙钛矿结构的铁电体,它具有高的介电常数和低的漏电流特性,其相对介电常数可高达180.通过溶胶--凝胶的方法在单晶硅基底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜,分析对比了不同Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜厚度下的电润湿效应.实验结果表明,导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大;在Ba0.7Sr0.3TiO3厚度不同的情况下Ba0.7Sr0.3TiO3层厚度与接触角余弦值变化率成反比.在绝缘介电层相同厚度情况下,Ba0.7Sr0.3TiO3绝缘介电层的性能要优于派瑞林、氮化硅、二氧化硅绝缘介电层的性能.相关结论验证了Ba0.7Sr0.3TiO3;在微透镜阵列中的可行性以及其相对于其它绝缘材料的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁忠诚	南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心	86	385	10.0	15.0
2	陈陶	南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心	30	116	6.0	9.0
3	江博	南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心	1	2	1.0	1.0