高效钯膜氢气纯化器及其应用

• 作者: 徐恒泳
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯氢气 纯化器 应用 钯膜 多孔支撑体 金属钯 钯复合膜 半导体
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 分类号: TQ116.2

摘要

众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气（99．99999％），主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大量的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。通过在多孔支撑体表面形成一层更薄的钯层，可以制备金属钯复合膜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐恒泳	中国科学院大连化学物理研究所	130	1599	24.0	34.0