AlSb多晶薄膜的制备及其潮解性研究

• 作者: 冯良桓 夏庚培 张静全 李卫 武莉莉 贺剑雄 郑家贵 黎兵
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: AlSb 薄膜 退火 磁控溅射法
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 173-176
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1864字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法制备了Al-Sb多层薄膜,通过调节Al和Sb亚层厚度及层数改变原子配比,并在真空中退火.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、金相显微镜、Hall测试及俄歇电子能谱仪研究了薄膜的结构和性能.结果表明,刚沉积的薄膜只有Sb的结晶相,经500℃退火后化合为P型AlSb多晶薄膜,且沿(111)择优取向,退火温度超过600℃薄膜产生局部损伤.通过台阶仪显微摄像探头及俄歇深度剖图观察和分析了薄膜的潮解现象,提出了几种保护措施.