CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究

• 作者: 朱大庆 金曦
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 激光直写 CO2激光 聚合物波导
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 686-689
• 分类号: TN249
• 字数: 1967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.030

摘要

为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术,采用理论模拟和工艺研究的方法,通过建立激光加工模型,得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系,提出了增加波导侧面陡直性的方法;通过对实验结果的分析,研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响.结果表明,控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曦	华中科技大学光电子科学与工程学院	8	62	4.0	7.0
2	朱大庆	华侨大学信息学院	12	33	4.0	5.0