微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响

• 作者: 刘婷婷 白竹川 袁明权 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微流体 电渗泵 微通道 开通道
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 684-688
• 分类号: O35|TH703
• 字数: 2818字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.11.007

摘要

开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件.开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系.首先理论分析了微通道的长度、宽度和高度对开通道电渗流性能的影响,得出了各参数对电渗流性能的影响趋势.应用MEMS CAD软件Coventorware对微通道尺寸的影响进行了数值仿真分析,结果表明:数值仿真得出的结论与理论分析相一致,高深宽比微通道的电渗泵,减小宽度W和深度H有助于提高开通道电渗泵的压力,但流量也随之减小,设计时宽度和深度需折衷取值;长度L只对流量有影响,对压力无影响,通过优化设计微通道的几何尺寸可以使开通道电渗泵的压力和流量性能得以提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	袁明权	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	4.0	7.0
6	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0
7	白竹川	西南科技大学信息工程学院	10	95	7.0	9.0