基于PLC的直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石设备自动控制系统

• 作者: 吴晓波 姜龙 胡红彦 郭辉
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 自动控制 系统 PLC 化学气相沉积金刚石
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TP271+.4|TB43
• 字数: 2250字
• 语种: 中文

摘要

针对直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石设备,以PLC作为系统的控制核心,触摸屏作为人机界面,梯形图为编程语言,不仅实现了设备的自动运行,而且还由上位机的组态软件通过485总线实现了多台设备的远程监视和生产数据的长期记录.实际运行结果表明,整个系统硬件可靠,软件运行稳定,达到了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭辉		12	14	2.0	3.0
2	胡红彦		8	29	3.0	5.0
3	姜龙		11	12	3.0	3.0
4	吴晓波		10	15	3.0	3.0