平晶平面度测量方法的研究

• 作者: 孙佳媛 徐晨 陈磊
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光学测量 平面度 Fritz三面互检法
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 204-207
• 分类号: TB921
• 字数: 1819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.z2.50

摘要

针对不同精度平晶的测量要求,介绍了3种平晶平面度的测量方法.阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性.对于高精度平晶的检测,介绍了2种绝对测量的方法.对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序,并进行了实验.不同方法的测试结果符合较好,面形评价数据在相同数量级上,验证了测试方法的可行性,实现了无参考面的高精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	孙佳媛		3	5	2.0	2.0
3	徐晨	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	8	29	3.0	5.0