一种PECVD设备中SiH4及N2的气体分析方案

• 作者: 潘阿伟
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 光伏设备 气体分析 对数拟合 电化学技术 计算机控制
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 26-28
• 分类号: TM92|TK51
• 字数: 3227字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2010.12.008

摘要

针对市场需求,在对数拟合的计算方法基础上,采用电化学分析,基于AduC812芯片,提出了一种应用于等离子体增强化学气相沉积法(PECVD沉积法)设备的双通道气体分析仪的理论基础.以便携式双路(SiH4/N2)气体分析仪--FXY02型气体分析仪为例,阐述了其系统架构、关键技术.该气体分析仪可满足各种气体分析的需求.

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1	潘阿伟		1	0	0.0	0.0