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摘要:
介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置.该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的自动化控制,并最终实现与中压加热设备的可靠衔接.
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文献信息
篇名 多晶硅生产用还原炉高压启动装置的研制
来源期刊 东方电气评论 学科 工学
关键词 多晶硅 还原炉 高压启动
年,卷(期) 2010,(2) 所属期刊栏目 储能技术
研究方向 页码范围 67-70
页数 分类号 TM38
字数 2650字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-9006.2010.02.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 雷凯 2 8 2.0 2.0
2 熊向杰 2 3 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
还原炉
高压启动
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
东方电气评论
季刊
1001-9006
51-1333/TM
大16开
成都市高新西区西芯大道18号
62-187
1987
chi
出版文献量(篇)
1362
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8
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