特种气体供应系统的设计

• 作者: 李骥
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 工学
• 关键词: 特种气体 供应 设备材料 安全
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: TB21

摘要

本文主要介绍半导体工厂的特种气体的供应方式、特气间的设置、气瓶框／架、特气管路和阀箱等的工程设计、设备材料、安全措施，可供读者参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李骥		2	1	1.0	1.0