具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计

• 作者: 周嘉 王锡明 黄宜平
• 来源期刊: 复旦学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微悬臂梁 谐振传感器 优化设计模拟 锆钛酸铅
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 674-680,695
• 页数: 8页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文

摘要

设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对微悬臂梁进行了静态响应、模态分析和谐响应分析.可以看到采用Ⅱ型上电极设计的微悬臂梁既可以实现激振和测振功能,同时具有最佳的静态灵敏度和较高的品质因子,为优化的设计结构.